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中國(guó)光谷-裝備世界4K全高清測(cè)量顯微鏡 金相顯微鏡 半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備

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金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

2021-03-29(3333)次瀏覽

  金相顯微鏡相對(duì)其他顯微鏡來說是一款高價(jià)值的光學(xué)儀器設(shè)備,主要用于識(shí)別和分析金屬內(nèi)部的機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu),它是一種重要的研究工具,是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)通過光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起,是工業(yè)金相學(xué)部門用...

  金相顯微鏡相對(duì)其他顯微鏡來說是一款高價(jià)值的光學(xué)儀器設(shè)備,主要用于識(shí)別和分析金屬內(nèi)部的機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu),它是一種重要的研究工具,是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)通過光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起,是工業(yè)金相學(xué)部門用來識(shí)別關(guān)鍵的產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)設(shè)備,可以很容易地觀察金相圖像的計(jì)算機(jī)、金相地圖集、評(píng)級(jí)、輸出圖像、印刷等,很多實(shí)驗(yàn)室都會(huì)用到這種儀器。那么金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范是怎樣的呢?下面深視光谷小編來給大家介紹。

 

  金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范:

 

  1、物鏡場(chǎng)曲

 

  將金相顯微鏡物鏡安裝好,將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊;旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕,將焦點(diǎn)調(diào)整在測(cè)微尺的中間,視場(chǎng)中心成像清晰,此時(shí)將千分表測(cè)頭與工作臺(tái)表面相接觸并對(duì)好表的零位;再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕,把焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣,使視場(chǎng)邊緣成像清晰。觀察千分表,其Zda偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差,其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。

 

  金相顯微鏡物鏡場(chǎng)曲誤差的指標(biāo)如下:10x≤0.20mm、25x≤0.10mm、40x≤0.07mm、63x≤0.065mm、100x≤0.04mm。

 


  2、物鏡放大倍數(shù)的正確性

 

  金相顯微鏡裝上10x標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡,將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。觀察時(shí)測(cè)微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合,其偏移量則是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn),其誤差不大于5%。

 

  3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度

 

  將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下,把分劃板放置在工作臺(tái)上并調(diào)好焦距;調(diào)整工作臺(tái),使分劃板的水平線與縱向?qū)к壭谐唐叫胁?duì)好零位,按每20格測(cè)量一次,直至第100格,其誤差不大于5μm。

 

  4、物鏡成像清晰范圍

 

  用被檢物鏡及10x目鏡對(duì)測(cè)微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦,使成像清晰。當(dāng)視場(chǎng)中心像Z清晰時(shí),測(cè)得視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%。

 

  5、各物鏡相對(duì)于目鏡的格值

 

  裝上金相顯微鏡的10x目鏡,將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺(推薦使用隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺)放在工作臺(tái)上并壓緊;調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與金相顯微鏡目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行,并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測(cè)微尺n條刻線數(shù),該物鏡相對(duì)于目鏡的格值為:C=n/i×0.01mm。其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。

 

  6、金相顯微鏡示值誤差

 

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  這一檢定法應(yīng)在不同的放大倍數(shù)條件下進(jìn)行。Z寬的單刻線樣板用于檢定放大倍數(shù)Z小的物鏡,其余依此類推。

 

  將單刻線樣板置于金相顯微鏡的工作臺(tái)上,調(diào)整儀器使樣板在視場(chǎng)出現(xiàn)清晰的象,借助儀器工作臺(tái)的微分筒移動(dòng)樣板,使單刻線的應(yīng)用段連同兩個(gè)記號(hào)呈現(xiàn)在儀器目鏡的分劃板中;旋轉(zhuǎn)目鏡角度,使樣板的刻線方向與分劃板的刻線垂直,并讀出在單刻線寬度上所包含的分劃板的刻線數(shù)。物鏡的格值C乘以刻線數(shù)i即為儀器測(cè)得的單刻線寬度值。

 

  金相顯微鏡示值誤差δ可由下式確定:

 

  δ=(L標(biāo)-L測(cè))/L標(biāo)×1**%(式中:L標(biāo)——檢定證書上所標(biāo)明的樣板刻線寬度)

 

  用單刻線樣板以相同的方法對(duì)各種物鏡分別進(jìn)行檢定,其示值誤差δ均不超過相關(guān)規(guī)定。

 

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  如被檢金相顯微鏡的格值是用隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺標(biāo)定的,可用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺檢定示值誤差。將標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺置于儀器工作臺(tái)上,調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行,并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測(cè)微尺n條刻線數(shù)。儀器測(cè)得的長(zhǎng)度L測(cè)=iC,其所對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺長(zhǎng)度為L(zhǎng)標(biāo)=n×0.01mm,則金相顯微鏡的示值誤差為:

 

  δ=(L標(biāo)-L測(cè))/L標(biāo)×1**%(式中:L標(biāo)——檢定證書上所標(biāo)明的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺長(zhǎng)度)

 

  用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺以相同的方法對(duì)各種物鏡分別進(jìn)行檢定,其示值誤差δ均不超過相關(guān)規(guī)定。

 

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  在檢定數(shù)碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、wan能金相顯微鏡、圖像分析儀時(shí),將單刻線樣板或標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺置于工作臺(tái)上,用儀器顯示器像素長(zhǎng)度值,可直接讀出單刻線的寬度值或測(cè)微尺的長(zhǎng)度值。

 

  金相顯微鏡示值誤差δ可由下式確定:

 

  δ=(L標(biāo)-L測(cè))/L標(biāo)×1**%(式中:L標(biāo)——檢定證書上所標(biāo)明的樣板刻線寬度和標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺長(zhǎng)度)

 

  用上述各級(jí)樣板或標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺以相同的方法對(duì)各種物鏡分別進(jìn)行檢定,其示值誤差δ均不超過相關(guān)規(guī)定。

 

  7、隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺示值誤差

 

  將測(cè)微尺置于工作臺(tái)上,調(diào)整測(cè)微尺使其標(biāo)尺軸線與工作臺(tái)移動(dòng)方向平行并對(duì)好零位,按每20格測(cè)量一次,直至第100格,其誤差不大于3μm。

 

  以上內(nèi)容就是對(duì)金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范的介紹了,金相顯微鏡在使用的過程中展現(xiàn)出了超高的成像性能,觀察物體的精確性能,以及使用范圍的廣泛性能。在使用結(jié)束后,應(yīng)小心卸下金相顯微鏡的物鏡和目鏡,并檢查是否有灰塵等污染,如有污染,應(yīng)及時(shí)用鏡頭紙輕輕擦試干凈,然后放入干燥器內(nèi)保存,以防止潮濕霉變。另外,用戶在選購(gòu)時(shí)還要考察生產(chǎn)商在制造上所選用的材質(zhì)、制造精度、機(jī)械設(shè)計(jì)的科學(xué)性和合理性。

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